| 半導體業界(外觀檢查) - 自動化設備,半導體設備,電子代工廠,自動化機器,自動化專用機,自動控制設備,自動化機械設備,自動化機器設備,自動化設備廠商,產業自動化設備,專用機設計製造,光學設備,光學產業設備,光學自動化機械,光學光電自動化機械,光學光電自動化專用機,客製化自動化設備,客製化設計,AOI視覺檢測,Chip零件外觀檢查機,檢測技術,自動化裝置,自動化機械,AOI,外觀檢查機,自動化用機械,自動化機械,外觀檢查機,客製化自動化設備,自動外觀檢查機,高速自動外觀檢查機,自動光學檢測機,影像檢查機,處理高速,定制装置,節省勞力的設備 |
晶圓晶片外觀檢查裝置
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| OVS-2500 & OVS-5000 |
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使用最先进的演算法改变了外观检查机！
惊人的低价位 ! 搭配图像合成技术 !
惊人的投资效果 ! 简单的图像功能设定 !
实现世界最高水准的图像检出能力 !
搭载本公司开发的高精度图像学习比对演算法 !
想要节省目视检查的经费吗?
想更进一步提高效益吗?
想更进一步提高检查速度吗? |
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此外，已將各種功能濃縮於精簡的裝置尺寸內。
世界首創！！ 正在申請專利
高速處理且穩定性出眾
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OVS-2500(New大幅降低成本机种) |
OVS-5000(首選机种) |
| 摄像機 |
200 萬像素 （3CCD） |
200 萬像素 （3CCD） |
| 透鏡電動變焦 |
自動變焦 1倍/2倍/4倍 |
金屬顯微鏡 明暗視野兼用透鏡(1.25～10倍) |
| 照明 |
同軸照明 斜光環形照明 |
利用物鏡 |
| 解析度 / 視野 |
5.8μm/9.4×7mm～1μm/1.6×1.2mm |
3.5μm/5.6×4.2mm～0.9μm/1.4×1mm |
| 處理能力 |
10000個/每分鐘( 200μm/視野20個)
＊條件不同而有所差異 |
12000個/每分鐘( 200μm/視野20個)
＊條件不同而有所差異 |
| 晶片尺寸 |
6 inch Wafer Die size 150 μm ～ |
8 inch Wafer Die size 150 μm ～ |
| 電腦 |
2 pcs （ Windows 7 / 64 bit）＊配件可搭選 |
4 pcs （ Windows 7 / 64bit） |
| 電氣規格 |
電源 3 相 AC220 V 50 / 60 Hz 20A
氣動電源 0,5 Mpa |
電源 3 相 AC220 V 50 / 60 Hz 20A
氣動電源 0,5 Mpa |
| 設備尺寸 / 重量 |
（W）1050 ×（D）900 ×（H）1650 mm / 約800 kg |
（W）1400 ×（D）1100 ×（H）1750 mm / 約1300 kg |
＊OVS-2500機種也能搭載金屬顯微鏡以及對應8inch Wafer功能。
特徵
可實行多芯片同時檢查。
蕊片檢測範圍可進行靈活，詳細設定。
軟體可對應多種芯片產品類型
不良蕊片可實行標記或剔除。
檢測結果可文件輸出。
檢查內容
線性掃描相機 - 芯片連結檢查、傾斜程度檢查、水平垂直位置檢查。
面型相機 - 污損、變色、異物、龜裂、陰影、劃傷。
對象產品
各種晶盤。
尺寸: 5, 6, 8英寸平板晶盤。
應用
各種晶圓，LED，功率設備，MEMS，LD，PD，半導體相關。
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